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結晶方位測定装置
SUシリーズ
su

独自の測角機構を採用。高精度測定。
SUシリーズ
適応分野:単結晶(Si、サファイア、GaAs、GaP、InP、InSb、SiC)インゴットのオリフラ、Vノッチ結晶面方位、インゴット軸方位などを高精度に測定

機能と特長

角度測定の高精度化を実現

独自の測角システムにより、高い再現性と直線性を実現します。

長期間の安定性能

機構部は高い剛性と耐久性を有し、長期間安定した性能を維持することができます。

独自のX線プロフィールピーク検出機能を採用

統計処理技術を駆使し、X線プロフィールピーク検出方式を採用して高精度で安定した角度測定性能を得ることができます。

高速・高精度測定

4方位測定機能だけでなく、2方位測定機能も有し、測定時間は4方位測定に比べて約1/2で済みます。(SU-001は対象外)

*2方位測定は結晶方位のX,Y傾斜を球面幾何学を用いて厳密解で求めています。
 このため4方位測定と同じ精度で求まります.(特開平11-64252出願中)

独自のX線量測定系

X線量測定系は、パルスハイトアナライザによって散乱等の誤差原因を低減させ、Cuの特性X線を選別して測定することができますので、高精度の測定が可能です。

 

高感度検出器を採用(オフセット角が大きい結晶に対して対応可能)

最も重要な要素部品であるX線管と検出器は東芝製を採用。この検出器は検出すべきX線(CuのKα)に対して極めて高い感度を持っています。また、ガス検出器であることからX線の入射位置および方向に対する検出感度の変動が小さく、結晶面の傾き角の変化に対して安定した測定が可能です。

長寿命化対応

ランニング・コストに影響の大きいライフ部品であるX線管は、ディレーティングにより長寿命化を図っています。角度測定中以外は、X線を出さないため長寿命を期待できます。

型式
対象
測定項目
用途
SU−001 インゴット Vノッチ(オリフラ面)方位

Vノッチ加工用円筒研削機に本装置を取り付けて、Vノッチ方位を決定します。

 ・ 測定精度:±5´
 ・ 対象ワークサイズ:2"〜18"

測定ユニット      
SU−002 インゴット カット面方位(軸方位)

インゴットをワイヤーソーでウェハに加工する場合に軸方位を測定します。

・測定精度:±30”
・対象ワークサイズ:2"〜18"

SU−003 ウェハ Vノッチ(オリフラ面)方位

カット面方位(軸方位)・ウェハのカット面方位およびVノッチ方位と所定の結晶面との傾きを測定し、基準値と比較して良否判定をします。

・ "測定精度:±30"
・ 対象ワークサイズ:2"〜18"

SU−005 インゴット Vノッチ(オリフラ面)方位

カット面方位(軸方位)
外観、形状、重量
Vノッチ加工後のインゴットをワイヤーソーでウェハに加工する場合に、軸方位を測定するとともにVノッチの形状・深さ・結晶方位、インゴットの欠け、傷、切削残、直径、重量を測定します。

・測定精度:±1´(カット面) ±3´(Vノッチ方位)

SU−020 インゴット Vノッチ(オリフラ面)方位
カット面方位(軸方位)
Vノッチ加工後のインゴットをワイヤーソーでウェハに加工する場合、軸方位、Vノッチの結晶方位を同時に測定します。
(側面の測定のみで軸方位を求めます。特許第3805869号)

・測定精度:±1´(カット面) ±3´(Vノッチ方位)
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